MEMS压力传感器是目前市场占有率较大的微型传感器,不仅在工业变送器等领域的传统应用,此外在胎压计、血压计、健康秤、洗衣、电冰箱、微波炉、吸尘器用压力传感器,空调压力传感器,饮水机、洗碗机、太阳能热水器用液位控制压力传感器等领域都有广泛的应用。MEMS压力传感器在投入应用到生产活动前需要经过压力传感器标定系统的标定合格。
为解决传统的压力传感器标定系统大多数精度不够,不能有效为MEMS压力传感器进行高精度标定的难题,北京恒升伟业对大量MEMS压力传感器应用现场进行调研,结合现有的检定设备和条件,根据现行的执行规范、规程,研制出了一套全自动MEMS压力传感器标定系统。
HSIN6800 MEMS压力传感器标定系统主要由系统操作台、Mensor压力控制器控压系统、压力连接端口、软件、数据采集器、电脑、打印机等组成。经用实验室多次调试以及多个户反馈,该校准系统能有效应用于MEMS压力传感器校准,性能稳定,操作界面友好,压力参数测量精度优于0.01%I.S,系统可通过RS232/RS485接口或以太网口对设备等进行自动控制,在给定压力和范围内按***检定规程或厂方规程对多个MEMS压力传感器同时进行全自动标定工作。
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