MEMS压力传感器具有快速响应、坚固耐用、量程范围宽、温度变化对压力输出影响小、准确度高等优点,因此在汽车、医疗保健、工业中都得了广泛应用,在这些应用中,保证压力传感器的准确性对确保质量控制、保证病人生命安全来讲至关重要。因此如果传感器准确性出现了问题,那么就需用压力传感器标定系统进行校正或补偿。
在实际应用中,企业自己做MEMS压力传感器校准的缺点是在线校准很难执行,加上每颗压力传感器芯片都需要单独校准,不能进行批量校准,随着MEMS传感器的快速发展,与之相关的,对自动化批量测试标定设备的MEMS压力传感器标定系统的需求也随之增加。
HSIN6800压力传感器芯片标定系统是北京恒升伟业公司新研制的压力传感器校验筛选系统,系统内采用多项传感器校准技术,能一次性校验多支压力传感器。系统设计了信号采集、处理电路,显示控制电路以及与上位机的通讯,标定时只需标准压力源同时对标准传感器和被测传感器提供压力,就可以实时采集压力信号,处理数据,得到传感器的性能参数,并通过显示屏实时显示并将结果打印。这样在保证压力传感器的精度要求的同时,也就保证了压力检测的性能要求。
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