普通压力传感器通常是指传统的机械量压力传感器,它主要基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如MEMS压力传感器那样微小,并且成本也远远高于MEMS压力传感器。而相对于传统的机械式压力传感器,MEMS压力传感器的尺寸更小,使造价相对于传统“机械"制造技术大幅度提高。两种压力传感器在投入生产使用前都需要经过压力传感器标定系统标定合格。
MEMS压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时会产生变形,常常通过压阻或者电容的形式将形变转化为电信号,再经过过转换元件和转换电路,输出与压力成线性关系的电流或者电压信号。
MEMS压力传感器主要有压阻式和电容式两种,在工艺和性能上,压阻式工艺复杂,温度特性较差,电容式除了具有低温度系数,零静态功耗等优势,还具有灵敏度高、线性度好、后续处理电路易于设计等优点。
MEMS技术正在成为芯片公司的新贵,从移动通信和计算机,到消费电子、保健产品和工业控制,MEMS 应用正在迅速扩张成为增长热点。压力传感器实际运用前为了保证使用精度需对传感器进行校验标定,因此,MEMS压力传感器的大批量标定的也成为了一个迫切需要解决的问题。
恒升伟业HSIN6800全自动压力芯片校验工装由基准压力校验控制模块,待测压力传感器数字采集模块和PC自动化处理模块组成,具有模块化设计、自动化程度高、标定结果***度高等优点,系统根据客户需求可一次筛选1-48支(可扩展至350支)及以上的压力传感器,可广泛运用与MEMS压力传感器芯片的全自动大批量标定。
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