MEMS压力传感器凭借其尺寸小、灵敏度高、成本低等优点,广泛应用于汽车发动机管理系统、舒适系统、传动系统和安全系统中。MEMS压力传感器通常以硅基实现信号感知,通过信号调理电路实现敏感器件的小信号校准、放大、线性化等处理,并根据后端系统需求提供不同信号输出形式。MEMS压力传感器的批量生产与广泛应用需要依靠一套完善的全自动压力传感器标定系统来支持量值的溯源准确性。
HSIN6800全自动压力校验系统由基准压力校验控制模块,待测压力传感器数字采集模块和PC自动化处理模块组成,具有模块化设计、自动化程度高、标定结果准确度高等优点,使MEMS压力传感器的标定工作实现了完全的自动化,该系统仅需要工作人员输入必要的参数,其余完全由计算机控制运行,一次可以同时标定同压力范围的1~350支传感器。
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