MEMS压力传感器的全自动标定
发布时间:2023-07-26 17:30浏览次数:
传统的压力传感器是在当金属弹性体受到外力的作用而导致变形的时候,经过机械量的弹性的变形,然后待电量转换之后再输出,MEMS压力传感器则是具有电源、接口电路、执行器、微型传感器和信号处理的微型的机电系统,成本低、精度高、尺寸小,性价比很高。
随着MEMS传感器的快速发展,对自动化、批量化的测试与标定的需求越来越大,与之相关的,对自动化批量测试标定设备的需求也随之增加。通过测试标定可以获得MEMS压力传感器的误差参数,从而对其进行补偿校准,以提高应用精度。
人工标定MEMS压力传感器耗时长、效率低且易出错。HSIN6800全自动压力校验台使MEMS压力传感器的标定工作实现了完全的自动化。HSIN6800压力传感器标定系统内设有为待检MEMS压力传感器提供的密封空间,可有效避免外界因素的干扰,准确性高,为压力传感器提供恒定的压力,保证压力传感器感应到的信号为压力信号,改变了传统万用表的电压检测,准确性良性好,可实现自动化检测,并自动记录和处理数据,一次可以同时标定同压力范围的多个MEMS压力传感器。
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