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常见问答

干体炉在半导体行业中的应用
发布时间:2023-09-04 17:58浏览次数:

在半导体制造过程中,温度是十分重要的工艺参数。例如热电偶就常用于测量和控制退火、氧化、刻蚀等各种工艺设备的温度,确保工艺的安全性,对提高半导体质量和性能有着重要的作用。由此可见,用于检定热电偶准确度的干体炉温度校验仪等计量设备在半导体行业也有着广泛的应用。

干体炉

在计量校准方面,干体炉主要用于热电偶、热电阻、温度传感器、温度变送器等温度仪表的温度测试。HSIN930系列智能干体炉可提供稳定而准确的温度环境,模拟各种环境条件,以便在实验室中测试半导体的性能,还可以用于热处理和退火等其他半导体制造步骤。

HSIN930智能干体炉还可测量直流电压、毫伏电压、直流电流、电阻、开关通断等信号。还可测量8种热电偶和5种热电阻,提供冷端补偿功能,热电阻测量有多种线制选择,满足了半导体行业校准温度仪表对准确度、便携性和速度的要求。


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