近年来,随着MEMS压力传感器芯片的快速发展,对其自动化、批量化的测试与标定的需求越来越大,然而很多产品在投入市场之前没有经过压力传感器标定系统筛选出合格的产品或者发现产品中存在的问题,只能在产品使用过程中出现的问题来检测其可靠性,增加了器件的使用成本,影响了MEMS压力传感器的规模化应用。
为解决这个难题,北京恒升伟业针对MEMS压力传感器自动批量测试标定开展了一系列研究工作,设计出了一套MEMS压力传感器全自动批量标定系统,以提高MEMS压力传感器测试标定的自动化程度和效率,对推动MEMS压力传感器的研发和产业化有重要意义。
HSIN6800压力传感器标定系统包括气源装置,Mensor压力控制器,标定实施装置和数据处理装置。标定实施装置与压力控制器连通,用于通过不同压力的气体对待标定MEMS压力传感器施加压力,并输出多个压力真实值,压力控制装置先接收多个外部预设压力值指令,预先设定多个不同的压力值。Mensor压力控制器再根据设定自动连续输出不同压力的气体,避免人工控制,减小了操作误差。数据处理装置同时采集预设压力值,压力真实值和电信号值,减小了数据采集的时间差,保证了数据采集的同步性。
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