外部压力要求：

Mensor压力控制器CPC6000气源要求对于一个压力通道，***高压力变送器量程之上 10% 或***高压力变送器之上 20 psi，取二者较小者。小心如果在控制器内部残余高压的情况下从 CPC6000 上断开供应压力，可能导致调节器损坏。在断开供应压力之前，请排空CPC6000 中的气体。

排气要求

要实现负压控制，必须配备一个真空源。

控制压力稳定性

主动量程范围的 0.003%。显示稳定标记 10 秒钟后一般优于测量范围的 0.001%。

每种类型调节器中可用的传感器测量范围

LP SVR：0-1 psig 到 0-50 psig（0-5 psia 到 0-50 psia）。

MP SVR：0-10 psi 到 0-150 psi。

HP SVR：0-75 psi 到 0-1500 psi。

***小控制压力

排气压力之上 0.05% FS 或 0.025 psi，取二者较大者。

控制时间

对于 50cc 容积中 10% 步进压力变化，10 秒钟后显示稳定标记。容积越大，此时间越长。控制到低于 0.5 psia 的压力时，此时间也会延长。

压力控制速率

慢速、中速、快速（默认）。

供气消耗

稳态控制下 < 2.5 scfh。

超调

低超调模式：< 主动量程的 0.005%。

高速模式：< 主动量程的 1%。