MEMS压力感器按精度等级可以分为低、中、高三类,其中高精度的MEMS压力传感器主要应用于军用级和宇航级产品,精度要求高,具有温度范围宽、可抗冲击等性能,MEMS压力传感器正在向更高集成度和更高精度的方向发展,且随着MEMS压力传感器技术的不断发展与进步,对压力传感器标定系统的精度要求也越来越高。
MEMS压力传感器在投入使用前,一般需对其进行测试与标定。通过测试标定可以获得MEMS压力传感器的误差参数,从而对其进行补偿校准,以提高应用精度。目前MEMS压力传感器的测试标定主要以人工为主,此种方法耗时长、效率低且易出错。即便有自动测试基本上仅针对单个的传感器,无法实现批量化自动测试。当对批量化生产的MEMS压力传感器进行测试标定时需要投入大量的人力物力,阻碍了MEMS压力传感器的应用及产业化发展。
为了解决MEMS压力传感器自动批量测试标定的难题,恒升伟业经过大量MEMS工况的调研,并结合了大部分用户的检定需求,依据现有的压力传感器检定规程,研发制造了一套全自动MEMS压力传感器标定系统,有效提高了MEMS压力传感器测试标定的自动化程度和效率,对推动我国MEMS压力传感器的研发和产业化有着重要的意义。
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