在医疗市场中,MEMS压力传感器可通过正压通气(CPAC)机中感测压力和流量差值,常常作为一种一次性的廉价导管用于外科手术,需求量大,同时也意味着压力传感器的检定工作量大,对压力传感器的自动化、批量化的测试与标定的需求越来越迫切,目前MEMS压力传感器的测试标定主要以人工为主,此种方法耗时长、效率低且易出错,无法实现批量化自动测试。
为解决此类难题,恒升伟业研制出一套全自动压力传感器测试系统,使MEMS压力传感器的标定工作实现了完全的自动化,该系统仅需要工作人员输入必要的参数,其余完全由计算机控制运行,一次可以同时标定同压力范围的1~350个传感器。
HSIN6800压力传感器测试系统主要包括数据控制系统和标定系统两部分,其中数据控制系统由程序控制模块,数据采集模块及数据处理模块串联组成;标定系统由气源、减压阀、MENSOR压力控制器、压力调节模块、信号输出模块、基准压力传感器和待标定压力传感器组成,将原来复杂的标定程序通过多标定期望压力点,多压力循环次数,实现压力传感器全程自动标定。
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