MEMS压力传感器是一种基于MEMS工艺和集成电路技术的新型压力测量仪器,具有体积小、精度高、成本低、可批量生产等优点,在工业领域有着广泛的应用,在航天领域也有着广泛的应用,通常应用于航天器的速度、面压、发动机内压等参数。MEMS压力传感器在应用到航天器前必须经过压力传感器检定装置的标定合格。
MEMS技术在航空航天领域中的应用主要有五种场合:
1.供有关航天器的工作信息,起故障诊断的作用;
2.判断各分系统间工作的协调性,验证设计方案;
3.提供全系统自检所需信息,给工作人员决策提供依据;
4.提供各分系统、整机内部检测参数,验证设计的正确性。
5.监测飞行器内外部的环境,为飞行员航天员提供所需的生存条件,保障正常飞行参数。
毫无疑问,MEMS压力传感器作为重要的传感器,其计量准确性对飞行安全,乃至国民经济的发展都有着重大的影响。因此,在关注MEMS 压力传感器研究进程的同时, 针对MEMS压力传感器标定的传感器标定系统的发展也不容忽视。
北京恒升伟业科技有限公司研制的HSIN6800压力传感器标定测试系统设计了信号采集、处理电路,显示控制电路以及与上位机的通讯,可以广泛应用于工业化领域MEMS压力传感器的现场标定,做到即采即标,使MEMS压力传感器的标定方便快捷,对于工业自动化的发展和航天飞行的安全发展有着重要意义。
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