干体炉在半导体行业中的应用
发布时间:2023-09-04 17:58浏览次数:
在半导体制造过程中,温度是十分重要的工艺参数。例如热电偶就常用于测量和控制退火、氧化、刻蚀等各种工艺设备的温度,确保工艺的安全性,对提高半导体质量和性能有着重要的作用。由此可见,用于检定热电偶准确度的干体炉、温度校验仪等计量设备在半导体行业也有着广泛的应用。
在计量校准方面,干体炉主要用于热电偶、热电阻、温度传感器、温度变送器等温度仪表的温度测试。HSIN930系列智能干体炉可提供稳定而准确的温度环境,模拟各种环境条件,以便在实验室中测试半导体的性能,还可以用于热处理和退火等其他半导体制造步骤。
HSIN930智能干体炉还可测量直流电压、毫伏电压、直流电流、电阻、开关通断等信号。还可测量8种热电偶和5种热电阻,提供冷端补偿功能,热电阻测量有多种线制选择,满足了半导体行业校准温度仪表对准确度、便携性和速度的要求。
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